Transactions of Nonferrous Metals Society of China The Chinese Journal of Nonferrous Metals

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中国有色金属学报

ZHONGGUO YOUSEJINSHU XUEBAO

第3卷    第4期    总第9期    1993年12月

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文章编号:(1993)04-58-6
成份及微观结构对涂层硬度及粘结强度的影响
马柳莺1  李晓伟1 刘国纯2 卞恒正2

(1.中南工业大学材料科学与工程系, 长沙410083;
2.株洲硬质合金研究所.株洲412000
)

摘 要: 测定了物理化学气相沉积(PCVD)Ti(C,N)-TiN 涂层和化学气相沉积(CVD)Ti(C,N)-TiN 涂层的显微硬度(Hv)和粘结强度(Eb)。采用 X 射线衍射实验、扫描电子显微术以及 X 射线光电子谱分析了 PCVD 与 CVD 涂层部分力学性能间差别的原因。指出涂层择优取向及物相组成是影响涂层硬度的重要因素;涂层-基体粘结强度与沉积工艺、界面上新相和孔隙的存在密切相关。

 

关键字: 化学气相沉积  物理化学气相沉积  粘结强度  沉积工艺  硬度

Abstract:

 

Key words:

ISSN 1004-0609
CN 43-1238/TG
CODEN: ZYJXFK

ISSN 1003-6326
CN 43-1239/TG
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