文章编号：(1993)03-35-3
用AES研究离子溅射TiC薄膜
(中国科学院固体物理研究所)
摘 要: 用AES研究了离子溅射TiC薄膜的成分分布及表面碳偏析。对升温过程中出现的表面碳偏析和游离态碳钛交互作用机理进行了分析,给出了偏析热力学的实验结果表达式。
关键字: TiC薄膜 AES 碳偏析 交互作用
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Abstract:
Key words:
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ISSN 1004-0609
CN 43-1238/TG
CODEN: ZYJXFK
ISSN 1003-6326
CN 43-1239/TG
CODEN: TNMCEW