摘 要: 在1100℃恒温氧化条件下，研究了稀土氧化物CeO₂， Gd₂O₃对NiAl基上形成的α- Al₂O₃膜的生长速率及其粘附性等氧化动力学参数的影响，并在此基础上采用SIMS测量二次离子流强度与阻止电压曲线方法，研究了Al₂O₃膜内及Al₂O₃/NiAl基界面处Al、 Ni原子间结合能的变化规律。实验结果表明，稀土氧化物存在于氧化膜的晶界等处，具有促进氧化膜的晶粒间“微烧结”作用而提高了原子间的结合能。同时，还从稀土氧化物的化学性质出发，研究了稀土氧化物种类对氧化动力学产生不同影响的作用机制。

关键字: 稀土氧化物 α- Al₂O₃膜 氧化动力学 原子结合能