文章编号：(1995)02-112-4
直拉硅中氮与氧的相互作用①
(1.浙江大学高纯硅及硅烷国家重点实验室，杭州310027；
2.中南工业大学应用物理及热能工程系，长沙410083)
摘 要: 应用红外光谱技术研究了CZ硅中氮与氧的相互作用，实验发现硅中氮的行为不仅与热处理温度有关，而且与热处理时间、样品的热历史等因素有关，由此得出，硅中氮与氧的相互作用实际上分为三个阶段：(1)氮氧复合物的形成，(2)氮氧复合物的脱溶，(3)以氮为中心的氧沉淀的长大。
关键字: CZ硅 氮氧复合物 氧沉淀
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Abstract:
Key words:
