Transactions of Nonferrous Metals Society of China The Chinese Journal of Nonferrous Metals

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中国有色金属学报

ZHONGGUO YOUSEJINSHU XUEBAO

第6卷    第2期    总第19期    1996年6月

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文章编号:(1996)02-44-3
氮气氛下直拉硅中氮含量的红外光谱测定
谢书银 石志仪

(中南工业大学应用物理与热能工程系,长沙410083)

摘 要: 提出了利用直拉硅中与氮有关的特征红外吸收峰963、996、1081-1及1027cm-1确定直拉硅中氮含量的计算公式并进行了多种样品实测。该法克服了只用963cm-1峰测定直拉硅中氮使结果偏低的弊病,方法相对偏差为5%~20%。

 

关键字: 硅 氮 红外吸收光谱法

DETERMING NITROGEN IN CZOCHRALSKI-SILICON
BY INFRARED ABSORPTION SPECTROMETRY
Xie Shuyin, Shi Zhiyi

Department of Applied Physics and Heat Engineering,
Central South University of Technology,Changsha 410083

Abstract:The calculation formula for determination of nitrogen in CZ-Si grown under nitrogen atmosphere by infrared absorption lines related to nitrogen at 963, 996, 1 018 and 1 027cm-1was given and the samples were measured with RSD 5%~20%. This method eliminated the deviation caused by using only 963cm-1in CZ-Si.

 

Key words: silicon  nitrogen  infrared absorption spectrometry

ISSN 1004-0609
CN 43-1238/TG
CODEN: ZYJXFK

ISSN 1003-6326
CN 43-1239/TG
CODEN: TNMCEW

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